Banca de DEFESA: NATÁLIA DE FREITAS DAUDT

Uma banca de DEFESA de MESTRADO foi cadastrada pelo programa.
DISCENTE: NATÁLIA DE FREITAS DAUDT
DATA: 27/02/2012
HORA: 09:00
LOCAL: auditório do CCET
TÍTULO:

 Influência dos parâmetros de processo durante a deposição de nitreto de titânio por descarga em gaiola catódica 


PALAVRAS-CHAVES:

Gaiola catódica, Filmes Finos, TiN, Espectroscopia de Emissão Óptica, Propriedades Ópticas


PÁGINAS: 108
GRANDE ÁREA: Engenharias
ÁREA: Engenharia de Materiais e Metalúrgica
RESUMO:

Filmes finos de nitreto de titânio foram crescidos sobre vidro a fim de averiguar a influência das variáveis de processo durante a deposição por descarga em gaiola catódica. Como atmosfera do plasma foi utilizada a mistura Ar, N2 e H2, fixando o fluxo de Ar e N2 em 4 e 3 sccm, respectivamente, e usando fluxos de 0, 1 e 2 sccm de H2. O processo de deposição foi monitorado por Espectroscopia de Emissão Óptica (OES) para investigação da influência das espécies ativas no plasma. Observou-se que com o aumento fluxo de H2 as intensidades das espécies luminescentes no plasma sofrem alterações e que a espécie N2  (391,4 nm) não teve um crescimento proporcional ao  fluxo de H2. Outros parâmetros investigados foram diâmetro e número de furos da gaiola. As análises de difração de raios X com ângulo de incidência rasante (GIXRD) comprovaram que os filmes obtidos são compostos por TiN, podendo ter variações quanto a quantidade de nitrogênio na rede e o tamanho de cristalito; a microscopia óptica forneceu dados sobre a homogeneidade, a partir da microscopia de força atômica (AFM) observou-se algumas características microestruturais do filme e a rugosidade. A espessura foi quantificada através das análises de elipsometria. As propriedades ópticas como refletância e transmitância (medidas por espectrofotometria) são bastante sensíveis a alterações na rede cristalina do material, composição química e espessura, sendo, portanto, uma boa ferramenta para verificação do controle do processo. De maneira geral, os filmes obtidos com fluxo de 0 sccm de H2 possuem uma maior transmitância atribuída ao menor cristalinidade decorrente da maior quantidade de nitrogênio na rede cristalina do TiN. Os filmes obtidos nos fluxos de 1 e 2 sccm de H2 obtiveram um aspecto dourado e o difratograma apresentou picos característicos do TiN com maior intensidade e menor largura a meia altura, sugerindo que com a presença de hidrogênio na atmosfera do plasma os filmes são mais estequiométricos e com maior cristalinidade. Quanto à configuração da gaiola observou-se que com maior quantidade de furos na tampa, maior a proximidade da tampa com a amostra e menor o diâmetro do furo, maior é a espessura do filme obtido, o que é justificado pela maior probabilidade das espécies do plasma atingirem efetivamente a amostra e promoverem o crescimento do filme.


MEMBROS DA BANCA:
Presidente - 347652 - CLODOMIRO ALVES JUNIOR
Externo ao Programa - 1770049 - GABRIEL IVAN MEDINA TAPIA
Notícia cadastrada em: 16/02/2012 12:38
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