DEPOSIÇÃO DE FILMES FINOS DE FTO POR CATODO OCO
Catodo Oco; filmes finos; TCOs; SnO2:F (FTO).
Filmes finos pertencentes a classe dos óxidos transparentes condutores – TCOs, tem-se revelado componentes importantes no desenvolvimento e otimização de recursos energéticos. Os TCOs apresentam um comportamento singular com relação as suas propriedades, onde a elevada transmitância óptica na faixa do visível em coexistência a uma considerável condutividade elétrica, fazem desses materiais aliados valiosos no desenvolvimento de células fotovoltaicas, superfícies eletrocrômicas, janelas inteligentes, sensores ópticos e entre outros. Tamanha importância desencadeou uma série de pesquisas a fim de melhorar cada vez mais o processo de produção desses filmes, uma vez que suas propriedades estão intimamente ligadas maneira como os mesmos são obtidos. Nesse sentido, que o presente trabalho tem como objetivo desenvolver por meio da técnica de deposição física a baixa pressão (cátodo oco), filmes finos de óxido de estanho dopados com flúor – FTO. Tendo em vista, a deposição de FTO por catodo oco como um processo inovador, fica inerente a essa pesquisa a contribuição junto aos estudos em andamento de um novo método para obtenção desses filmes. Os filmes tiveram suas propriedades estruturais, ópticas, elétricas e magnéticas investigadas e relacionadas aos parâmetros de deposição – pressão, temperatura e fluxo de gás.