Materiais multifuncionais para desenvolvimento de elementos sensores: Rota para produção de nanoestruturas AlN/F
Campo geomagnético, instrumentação e filmes nanométricos
O estudo do campo geomagnético tem interesse prático na navegação, na comunicação, na prospecção mineral, entre outras aplicações. Os sensores utilizados atualmente para esse fim apresentam o inconveniente de utilizarem bobinas indutoras, o que limita a sua miniaturização para diminuir o consumo de energia e para implantação em dispositivos portáteis, novos ou já existentes. Neste sentido, a nossa pesquisa propõe uma abordagem usando a nanotecnologia como um possível caminho para solucionar essa questão. Filmes nanométricos de nitreto de alumínio (AlN) fazem parte de um grupo de materiais, também denominados nitretos III-V, possuindo propriedades físico-químicas interessantes para aplicações tecnológicas. Entre essas aplicações, o nitreto de alumínio se destaca devido a sua piezoeletricidade e elevado band gap, sendo um forte candidato a atuar em conjunto com materiais magnetostrictivos, chegando a filmes com propriedades multifuncionais. A motivação deste trabalho reside no estudo das propriedades elétricas do AlN e magnéticas das camadas depositadas sobre o mesmo de Permalloy, CoFeB e FeCuNbSiB, visando uma posterior aplicação num dispositivo sensor de campo geomagnético, que possa ser usado na área de ciências climáticas. Os filmes de AlN foram crescidos através de um sistema do tipo magnetron sputtering DC reativo com N2 usando-se alvo de alumínio com 99,999% de pureza. Os substratos foram aquecidos (200 °C) com argônio presente na mistura gasosa da câmara. Após a produção do filmes de AlN foi feita a deposição da camada magnética de Permalloy, CoFeB e FeCuNbSiB. Diferentes técnicas de caracterização foram empregadas na análise dos filmes de AlN, tais como curvas I-V, curvas de magnetização, difração de raios X.