SÍNTESE E CARACTERIZAÇÃO DE FILMES FINOS DE ÓXIDO DE ZINCO DOPADO COM ALUMÍNIO
AZO, TCO, Magnetron Sputtering, Filmes Finos
Este trabalho teve como finalidade realizar a síntese e a caracterização de óxido de zinco dopado com alumínio (AZO) para a confecção de alvos cerâmicos a serem utilizados na deposição de filmes finos condutivos (TCO) depositados em substrato de vidro através da técnica de pulverização catódica magnetron sputtering DC, que é uma técnica bem apropriada para a obtenção de filmes finos densos e uniformes. Na realização do trabalho variou-se parâmetros, como tempo de deposição e o fluxo de gás, para observar a influência nas propriedades óptica e elétrica dos filmes de AZO. As caraterizações dos filmes finos obtidos foram realizadas através das técnicas de Difração de Raios-X (DRX) que mostram um crescimento preferencial da estrutura em (100), (002), (101), (102) e (103) direções da estrutura cristalográfica hexagonal do ZnO, medidas de transmitância óptica na região do espectro visível e método das quatro pontas. Os resultados mostraram que os filmes obtiveram uma boa transmitância ótica, acima dos 80% no filme e um baixo valor de resistividade. Caracterizando-o como óxido condutor transparente.