Influência dos parâmetros de processo durante a deposição de nitreto de titânio por descarga em gaiola catódica
Gaiola catódica, Filmes Finos, TiN, Espectroscopia de Emissão Óptica, Propriedades Ópticas
Filmes finos de nitreto de titânio foram crescidos sobre vidro a fim de averiguar a influência das variáveis de processo durante a deposição por descarga em gaiola catódica. Como atmosfera do plasma foi utilizada a mistura Ar, N2 e H2, fixando o fluxo de Ar e N2 em 4 e 3 sccm, respectivamente, e usando fluxos de 0, 1 e 2 sccm de H2. O processo de deposição foi monitorado por Espectroscopia de Emissão Óptica (OES) para investigação da influência das espécies ativas no plasma. Observou-se que com o aumento fluxo de H2 as intensidades das espécies luminescentes no plasma sofrem alterações e que a espécie N2 (391,4 nm) não teve um crescimento proporcional ao fluxo de H2. Outros parâmetros investigados foram diâmetro e número de furos da gaiola. As análises de difração de raios X com ângulo de incidência rasante (GIXRD) comprovaram que os filmes obtidos são compostos por TiN, podendo ter variações quanto a quantidade de nitrogênio na rede e o tamanho de cristalito; a microscopia óptica forneceu dados sobre a homogeneidade, a partir da microscopia de força atômica (AFM) observou-se algumas características microestruturais do filme e a rugosidade. A espessura foi quantificada através das análises de elipsometria. As propriedades ópticas como refletância e transmitância (medidas por espectrofotometria) são bastante sensíveis a alterações na rede cristalina do material, composição química e espessura, sendo, portanto, uma boa ferramenta para verificação do controle do processo. De maneira geral, os filmes obtidos com fluxo de 0 sccm de H2 possuem uma maior transmitância atribuída ao menor cristalinidade decorrente da maior quantidade de nitrogênio na rede cristalina do TiN. Os filmes obtidos nos fluxos de 1 e 2 sccm de H2 obtiveram um aspecto dourado e o difratograma apresentou picos característicos do TiN com maior intensidade e menor largura a meia altura, sugerindo que com a presença de hidrogênio na atmosfera do plasma os filmes são mais estequiométricos e com maior cristalinidade. Quanto à configuração da gaiola observou-se que com maior quantidade de furos na tampa, maior a proximidade da tampa com a amostra e menor o diâmetro do furo, maior é a espessura do filme obtido, o que é justificado pela maior probabilidade das espécies do plasma atingirem efetivamente a amostra e promoverem o crescimento do filme.