Banca de DEFESA: EDSON JOSÉ DA COSTA SANTOS

Uma banca de DEFESA de DOUTORADO foi cadastrada pelo programa.
DISCENTE : EDSON JOSÉ DA COSTA SANTOS
DATA : 06/08/2018
HORA: 15:00
LOCAL: Sala 414 do CTEC - UFRN
TÍTULO:

EFEITO DA POSIÇÃO E DA CORRENTE ELÉTRICA NAS PROPRIEDADES DE FILMES DE AZO DEPOSITADOS POR MAGNETRON SPUTTERING DC SEM RECOZIMENTO E APLICAÇÃO DE FILME FINOS DE TiO₂

PALAVRAS-CHAVES:

Magnetron sputtering; AZO; TiO_2; corrente elétrica.

PÁGINAS: 112
RESUMO:

O Óxido de Zinco dopado com Alumínio (AZO) possui importantes aplicações na área óptico-eletrônica. Dentre as várias técnicas para a obtenção do AZO o magnetron sputtering é bem adequada para obtenção de filmes uniformes e densos. Este trabalho relata a deposição de filmes finos de AZO e dióxido de titânio (TiO₂) pela técnica de magnetron sputtering DC sobre substrato de vidro. Variou-se a posição do substrato e a corrente elétrica para verificar a influência nas propriedades morfológicas, óptica e elétrica dos filmes de AZO. Obteve-se filmes de AZO em alta pressão e sem recozimento após a deposição. Os filmes de AZO foram investigados por difração de raios-X, microscopia eletrônica de varredura com campo de emissão, espectroscopia de energia dispersiva de raios-X, Microscopia de força atômica e Método das Quatro pontas. Os resultados mostram uma diminuição da resistividade elétrica e da transmitância óptica na faixa visível e aumento da rugosidade com a diminuição da distância do alvo e aumento da corrente elétrica. A energia do gap foi reduzida com o aumento da corrente elétrica. Avaliou-se a obtenção de uma camada fina de TiO₂ sobre o filme de AZO. Os resultados apontaram o recobrimento das partículas de Oxido de Zinco dopado com Alumínio pelo TiO₂.

MEMBROS DA BANCA:
Externo ao Programa - 1715109 - DANIEL DE LIMA PONTES
Externo à Instituição - EDALMY OLIVEIRA DE ALMEIDA - NENHUMA
Externo à Instituição - EMANUEL BENEDITO DE MELO - IFSP
Externo à Instituição - IGOR OLIVEIRA NASCIMENTO - NENHUMA
Interno - 2614274 - MICHELLE CEQUEIRA FEITOR
Presidente - 2550377 - THERCIO HENRIQUE DE CARVALHO COSTA