Banca de QUALIFICAÇÃO: BRUNO FELIPE COSTA DA SILVA

Uma banca de QUALIFICAÇÃO de MESTRADO foi cadastrada pelo programa.
DISCENTE: BRUNO FELIPE COSTA DA SILVA
DATA: 07/06/2013
HORA: 16:00
LOCAL: Auditório do Centro de Tecnologia - CT/UFRN
TÍTULO:

DIAGNOSTICO DE PLASMA DE CÁTODO OCO: ANÁLISE DA AÇÃO DE PLASMAS DE ARGÔNIO E AR-H₂ PARA A DEPOSIÇÃO DE FILMES FINOS EM PÓS-DESCARGA

PALAVRAS-CHAVES:

Espectroscopia de emissão óptica; Cátodo oco; Pós-descarga; Filmes Finos.

PÁGINAS: 75
GRANDE ÁREA: Engenharias
ÁREA: Engenharia Mecânica
RESUMO:

O Plasma DC de catodo oco vem sendo utilizado para a deposição de filmes através de sputtering com liberação de átomos neutros do cátodo. O Plasma DC de Ar-H₂ de catodo oco usado atualmente na indústria tem demonstrado ser eficiente na limpeza de superfícies e deposição de filmes finos quando comparado ao plasma de argônio.  Quando desejamos evitar os efeitos do bombardeamento iônico da descarga no substrato, utiliza-se a região de pós-descarga. Geraram-se descargas por plasma de argônio e hidrogênio em catodo oco para deposição de filmes finos de titânio em substrato de vidro. A espectroscopia de emissão ótica foi empregada para o diagnóstico na pós-descarga. Os filmes formados foram analisados através da técnica de perfilometria mecânica. Observou-se que no espectro das linhas de argônio ocorreu excitação de espécies. Verificaram-se variações para a taxa de deposição do titânio sobre o substrato de vidro para diferentes parâmetros do processo como: tempo de deposição, distância da descarga e gases de trabalho. Contatou-se um aumento da intensidade das linhas de argônio quando comparadas com as linhas de titânio. Para deposição com Argônio e hidrogênio em amostra de vidro observou uma maior taxa deposição de titânio quanto mais próxima a amostra se encontrava da descarga.

MEMBROS DA BANCA:
Interno - 347652 - CLODOMIRO ALVES JUNIOR
Presidente - 1752038 - CUSTODIO LEOPOLDINO DE BRITO GUERRA NETO
Externo à Instituição - EDALMY OLIVEIRA DE ALMEIDA - UFRN
Externo ao Programa - 2550377 - THERCIO HENRIQUE DE CARVALHO COSTA