Banca de QUALIFICAÇÃO: EDSON JOSÉ DA COSTA SANTOS

Uma banca de QUALIFICAÇÃO de DOUTORADO foi cadastrada pelo programa.
DISCENTE : EDSON JOSÉ DA COSTA SANTOS
DATA : 20/06/2017
HORA: 09:00
LOCAL: Auditório da Secretaria de Ensino a Distância - SEDIS/UFRN
TÍTULO:

ANÁLISE MORFOLÓGICA, ÓPTICA E ELÉTRICA DE FILMES FINOS DE AZO DEPOSITADOS POR MAGNETRON SPUTTERING DC

PALAVRAS-CHAVES:

Filmes condutores transparentes, Magnetron sputtering DC, Propriedades morfológicas, transmitância, resistividade.

PÁGINAS: 112
RESUMO:

Este trabalho relata a deposição de filmes finos óxido de óxido de zinco dopado com Al (AZO, óxido de condução transparente) pela técnica de magnetron sputtering DC sobre um substrato de vidro. Variou-se o fluxo de Ar, corrente elétrica e o tempo de deposição dos filmes finos. Os filmes finos produzidos foram caracterizados por Difração de Raios-X (DRX), Espectroscopia de Energia Dispersiva (EDS), Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV), Espectrometria UV/VIS e Método de Quatro Pontas. Utilizou-se o método computacional PUMA para determinação da espessura da camada depositada. Os filmes finos crescidos a uma pressão de 8 x 10^-3 mbar possuíam picos de difração (002) para os filmes de AZO, transmitância óptica acima de 80 % e baixa resistência elétrica.

MEMBROS DA BANCA:
Presidente - 1752038 - CUSTODIO LEOPOLDINO DE BRITO GUERRA NETO
Interno - 2550377 - THERCIO HENRIQUE DE CARVALHO COSTA
Externo à Instituição - EDALMY OLIVEIRA DE ALMEIDA - UERN