MODIFICAÇÃO DAS PROPRIEDADES TRIBOMECÂNICAS DE SUPERFÍCIES DE TITÂNIO CARBONITRETADAS POR PLASMA
tratamento termoquímico, carbonitreto de titânio, tribologia.
Compostos intersticiais de titânio têm sido extensivamente estudados devido à larga faixa de propriedades adquiridas quando átomos de C, N, O e H são adicionados. Neste trabalho, superfícies de TiCxNy foram produzidas por tratamento termoquímico auxiliado por plasma de diferentes misturas de N2 + Ar + CH4. Foi fixado o fluxo de Ar em 4 sccm variando-se os fluxos de N2 e CH4. Durante o tratamento termoquímico, o plasma foi monitorado por OES para investigação da influência das espécies ativas. Após o tratamento, as superfícies das amostras foram analisadas quanto ao perfil de concentração de C e N, fases cristalinas e fases amorfas. Também foram analisadas suas propriedades tribomecânicas através da medida de nanodureza e da determinação do coeficiente de atrito. As áreas desgastadas foram avaliadas por perfilometria e microscopia eletrônica de varredura (MEV) com o intuito de verificar os mecanismos de desgastes presentes em cada material. Verificou-se que propriedades como dureza e coeficiente de atrito variavam com a intensidade das espécies, sugerindo o uso da mesma como parâmetro de processos a plasma.