Diagnóstico das espécies ativas do plasma usado em tratamentos termoquímicos do titânio
titânio, mistura de plasma, diagnóstico de plasma, OES
Diagnósticos de plasma por Espectroscopia de Emissão Óptica foram realizados para descarga elétrica em três misturas gasosas, dentro das seguintes combinações: z N2 – y Ar – x H2, z N2 – y Ar – x O2 e z N2 – y Ar – x CH4, com os índices z e y variando sistematicamente de 1 a 4 e x de 0 a 4, todos com dimensão de SCCM, resultando em 80 combinações. Dos espectros obtidos foram analisadas as espécies CH (387,1 nm), N2+ (391,4 nm), Hβ (486,1 nm), Hα (656,3 nm), Ar (750,4 nm), O (777,4 nm) e O (842,6 nm) por serem mais abundantes e importantes na cinética de reação plasma – superfície, além de suas altas dependências dos fluxos de gás. Foram escolhidas combinações z, y e x, particularmente interessantes para estudar a influência das espécies ativas na modificação da superfície durante o tratamento termoquímico. Das matrizes N2 – Ar – O2 e N2 – Ar – CH4 foram escolhidas três proporções peculiares que apresentavam perfis de intensidade luminescente com máximos ou mínimos inesperados classificados aqui como anomalias de plasma. Essas concentrações de plasma foram utilizadas como atmosfera de tratamento de amostras de titânio, mantendo-se constante os parâmetros pressão e temperatura. Verificou-se que a intensidade luminosa associada à espécie N2+ é diretamente proporcional a rugosidade na superfície do titânio para o plasma com 14% do fluxo total sendo do gás N2 e para 40% ou mais do fluxo do mesmo gás essa relação passa a ser inversamente proporcional. Foi estudado também a nanodureza do titânio tratado pelas concentrações escolhidas e viu-se que essa propriedade se intensifica precisamente nos pontos de máximo encontrados no perfil óptico associada a espécie N2+. Por outro lado, exatamente nesses pontos de máximo a difusão do oxigênio na rede cristalina do metal é prejudicada. Esses parâmetros foram verificados para matriz que envolvia o gás O2. Para a matriz em que se fez presente o gás CH4, a relação foi determinada por meio do número de átomos de nitrogênio, que apresentou relação direta com a intensidade luminosa referente à espécie N2+ e de carbono, relacionado diretamente com a abundância da espécie CH, inseridos na rede cristalina do titânio e a formação de fases TiCN na sua superfície, que essencialmente se mostra diretamente proporcional ao crescimento da espécie CH e inversamente proporcional ao crescimento da espécie N2+.