Banca de DEFESA: EDUARDO MOREIRA DAMASCENO - (Retificação)

Uma banca de DEFESA de MESTRADO foi cadastrada pelo programa.

DISCENTE: EDUARDO MOREIRA DAMASCENO

DATA: 27/01/2011

HORA: 15:00

LOCAL: AUDITÓRIO DO DEPARTAMENTO DE FÍSICA TEÓRICA E EXPERIMENTAL

TÍTULO:

DEPOSIÇÃO DE ALN POR SPUTTERING NÃO REATIVO

PALAVRAS-CHAVES:

Sputtering, nanofilmes, nitreto de alumínio

PÁGINAS: 78

GRANDE ÁREA: Ciências Exatas e da Terra

ÁREA: Física

SUBÁREA: Física da Matéria Condensada

RESUMO:

Neste trabalho depositamos via magnetron sputtering de rádio-frequência
não reativo nanofilmes de nitreto de alumínio (AlN). Os nanofilmes de
nitreto de alumínio são materiais semicondutores com alta condutividade
térmica, elevado ponto de fusão, piezoeletricidade e largo "bandgap"(6;2
eV) com estrutura cristalina wurtzítica hexagonal, pertencentes ao grupo
de novos materiais denominados nitretos III-V que em conjunto com o nitreto de
gálio e o nitreto de índio têm despertado muito interesse por possuírem
propriedades físico-químicas relevantes para novas aplicações
tecnológicas, principalmente em microeletrônica e dispositivos
optoeletrônicos.
Foram depositados três grupos de nanofilmes com as espessuras dependêntes do
tempo, sobre dois tipos de substratos (vidro e silício) a uma temperatura
de 25°C. Os nanofilmes de AlN foram caracterizados usando três técnicas, a
difração de raios-X, espectroscopia Raman e microscopia de força atômica
(AFM), analisado-se a morfologia desses. Através da análise dos raios-X
obtemos a espessura de cada amostra com sua respectiva taxa de deposição.
A análise dos raios-X também revelou que os nanofilmes não são
cristalinos, evidenciando o caráter amorfo das amostras. Os resultados
obtidos através da técnica, microscopia de força atômica (AFM) concordam
com os obtidos usando a técnica de raios-X. A caracterização por
espectroscopia Raman evidenciou a existência de modos ativos
característicos do AlN nas amostras analisadas.

MEMBROS DA BANCA:
Presidente - 2199774 - CARLOS CHESMAN DE ARAUJO FEITOSA
Interno - 1474380 - MARCIO ASSOLIN CORREA
Externo à Instituição - SERGIO ANDRÉ FONTES AZEVEDO - UFPB